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工作原理
X射线光电子能谱技术(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)是一种重要的材料表面成分等信息的分析技术。XPS技术通过采用一定能量的X射线照射样品表面,和待测样品的表面原子发生作用,测量样品表层中原子的内层电子或价电子束缚能及其化学位移,从而获得元素种类、原子的结合状态以及电荷分布状态等信息。(杨文超,X射线光电子能谱应用综述)
样品受X射线激发后光电子的发射过程如下图所示,入射的X射线与K层电子相互作用,使K层电子受激发后脱离原子的束缚发射出去。该过程可用公式hʋ=Ek+Eb+Er表示,hʋ为X射线的能量,Ek为光电子能量,Eb为电子的结合能,Er为原子的反冲能量(Er极小,可忽略)。由于不同原子同一层的电子束缚能不同,因此,可通过Eb来鉴定元素。
当原子周围的化学环境发生变化时,内层电子的结合能也会跟着发生变化,这种内层电子结合能随化学环境变化的现象称为化学位移。XPS可以测试化学位移,因此也就可以得出样品表面元素所处的化学状态。
图片来源:张素伟,X射线光电子能谱技术在材料表面分析中的应用
XPS技术特点
XPS技术具有灵敏度高、分辨率高、元素分析全(除H和He)、为非破坏性分析、深度剖析、小于10 nm薄膜分析(角分辨)、元素化学态分布(XPS成像技术)等特点。
可定性分析,根据所测得谱的位置和形状来得到有关样品的组分、化学态、表面吸附、表面价电子结构、原子和分子的化学结构、化学键合情况等信息。
可定量分析,以能谱中各峰强度的比值为基础进行分析,把所测到的信号强度转变成元素的含量,即将谱峰面积转变成相应元素的含量。
可深度剖析,由于样品本身的层状结构如氧化、钝化等原因导致样品在深度方向上化学状态的不同。通过利用氩离子枪对样品表面进行氩离子溅射剥离,控制合适的溅射强度及溅射时间,将样品表面刻蚀一定深度,然后进行取谱分析。
可角分辨电子能谱分析,改变样品表面与入射光束间的角度,即可改变入射光的检测深度,使得检测深度变浅,这样来自最表层的光电子信号相对较深层的会大大增强。利用这一特性,可以对超薄样品膜表面的化学信息进行有效地检测,从而研究超薄样品化学成分的纵向分布。(张素伟,X射线光电子能谱技术在材料表面分析中的应用)
XPS在锂电中的应用
图片来源:汤事成,富锂锰基正极材料Li1.2Mn0.54Ni0.13Co0.13O2的制备及表面改性研究
如上图b,c,d所示,分别显示了LRM(活性物质中无葡萄糖)和LRM-2(葡萄糖与活性物质比例为10%)的Ni 2p、Co 2p、Mn 2p的XPS图谱。葡萄糖糖修饰前后样品表面元素含量存在明显区别,LRM-2样品表面上Mn浓度显著增加,说明葡萄糖处理后样品表面存在锰富集的现象。851 eV和858 eV之间的能谱可分为Ni2+和Ni3+峰。由于Mn的2p结合能分裂多次,较难分析Mn的价态,采用Mn2p3/2峰的光谱进行了分析,其光谱在640 eV和645 eV之间。LRM的Mn2p3/2峰明显小于葡萄糖处理后LRM-2的峰,LRM-2中Mn2p裂解峰Mn3+和Mn4+大于LRM,说明葡萄糖处理后样品LRM-2中Mn3+、Mn4+含量更高。(汤事成,富锂锰基正极材料Li1.2Mn0.54Ni0.13Co0.13O2的制备及表面改性研究)
附:参考文献
[1]杨文超,X射线光电子能谱应用综述
[2]张素伟,X射线光电子能谱技术在材料表面分析中的应用
[3]余锦涛,X射线光电子能谱在材料表面研究中的应用
[4]汤事成,富锂锰基正极材料Li1.2Mn0.54Ni0.13Co0.13O2的制备及表面改性研究
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