DUV限制前,ASML突然重提两件事!外媒:有点意味深长了


近段时间,美拉拢日荷达成了协议,计划共同对先进芯片制造设备进行限制。这个消息最不爽的就是ASML了,因为将会限制DUV光刻机,为此率先对外宣布了消息。就在这时,我国哈工大突破光刻相关技术,日本尼康中标了中企ArFi浸没式DUV光刻机,笔者认为ASML接下来也会有大动作。果然不出所料,ASML突然重提两件事。

一是重提光刻机按计划扩产。
美日荷达成协议后,三方均没有对外公布相关信息,反而ASML率先对外确认此事,并明确表示协议已经达成,但具体实施还要一段时间,因为需要修改相关的法规。
同时,还对外表示,协议不会对ASML2023年的营收产生影响。ASML的动作明显是急着对外释放消息,应该是提醒中企,尽快在协议实施前下单,以便尽可能多地出货。不过,可能是效果不明显。上海积塔半导体发布的DUV光刻机招标,尼康还中标了。

于是,ASML在近日发布了2022年度报告。在报告中,ASML再次重提光刻机扩产计划,预计2025-2026年大幅提升光刻机产能,达到年产90台EUV和600台DUV。
ASML的这个光刻机扩产计划早就提出了,当时还是全球缺芯期间,全球各地都在加码扩建晶圆厂,光刻机需求激增,ASML的产能供不应求,才做出了这样的扩产计划。ASML之所以会计划年产600台DUV,也是考虑到大陆市场建设的晶圆厂数量较大。

然而,现在形势已经变了,缺芯开始向过剩转变,很多晶圆大厂都纷纷削减了资本支出,台积电也不例外。不过,大陆晶圆厂还在加速推进,中芯国际还扩大了支出。
但三方协议已经达成,DUV可能会被限制。这种情况下,ASML再次重提光刻机扩产计划,并且数量没有变化。如果DUV被限制出货了,恐怕ASML很难出货这么多。那么,ASML再次重提扩产计划,又意味着什么呢?是不是在对外传递某些信息呢。

二是重提雇员盗用数据事件
除了重提光刻机扩产计划外,ASML还重提了另一件事,那就是“数据窃取”事件,报告中提到:我们在中国的一名前雇员,未经授权盗用了我们与专利技术相关数据。
据美媒消息,有内部人士透露,数据包括生产一些最先进芯片至关重要的光刻系统。此类事件,ASML在2021年的报告中已经提到过,XTAL公司因为密已被判赔偿,但与之相关的中企东方晶源,可能正积极地在中国销售侵犯ASML知识产权的产品。

ASML的一名前员工,已于2012年离职。2014年初,成立了XTAL和东方晶源两个公司。其中,XTAL主要设计和制造半导体设备,东方晶源专注于集成电路良率管理。
2016年,ASML对XTAL发起诉讼,指控其美国子公司的几名前员工窃取了相关公司机密。2018年初步裁决XTAL五项罪名成立,2019年最终判决赔偿8.45亿美元。至此,该“数据窃取”案算是终结了,XTAL已宣布破产,知识产权也由ASML接手。

之后没了消息,直到2021年时,ASML在年报中再次提及,ASML还联系部分客户要求暂停与东方晶源的业务往来。不过,东方晶源发表声明,所有技术均是自主研发。
那时,ASML和东方晶源均没有太过于较真,在发布了相关声明后,事件就过去了。然而,在美日荷三方达成协议、即将限制DUV的关键时刻,ASML再次重提前员工窃取机密一事,美媒还提到数据跟先进光刻机设备有关,这事件恐怕并不那么简单。

据相关业内人士表示,ASML重提两件事主要还是想避免DUV被限制,尽量争取继续正常出货。重提到数据被窃,主要是提醒美方限制已经没有意义,中企会尽快突破。
重提光刻机扩产计划,正是表明还在为正常光刻机出货做好准备。可以说,ASML重提这两件事,当然不是随便提及,肯定是想要达到自己的目的,避免造成更大的损失。在DUV限制前,ASML突然重提两件事。外媒表示:有点意味深长,可能被逼急了!
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