前段时间，华为公布了一项光刻机技术相关专利，迅速引起了广泛关注。然而，光刻机涉及的专利非常多，一项专利影响有限，但却反映出大家对国产光刻机的期待。
光刻机是芯片制造过程中最核心的设备，也是我们设备最大的短板之一，如果不是国外限制，恐怕水平会更高。如今，又一中企首台光刻机入厂，ASML做出了选择！
尽管目前国产光刻机的水平还相对较低，但至少我们还有光刻机企业上海微电子。全球仅三个国家、四家企业能够生产芯片制造用的前端光刻机，我国就是其中之一。
日本的尼康和佳能曾经也是光刻机霸主，后来被荷兰的ASML超过，目前仅能出货中低端光刻机，而ASML占据了中高端光刻机市场，尤其是垄断了高端EUV光刻机。
我国的上海微电子的前道光刻机才能做到90nm， 目前正在向更高的制程发起冲击。
然而，就在这个关键时刻，上海微电子又被美方加入到了“实体清单”，恐怕发展进程还会受到一些影响。不过，正是因为有了上海微电子，我们才不会彻底受限制。
至少可以保证我们一些关键部位的芯片生产，因为那些对制程要求没那么高。然而，如果商用的话，制程就相对较低了，一般都需要28nm成熟制程的DUV光刻机。
由于EUV光刻机被美限制，一直以来我们的企业主要从ASML购买DUV等光刻机。
前段时间，上海鼎泰匠芯的洁净室交付使用，搬入了首台ASML光刻机，用于车规级半导体产品及通讯终端芯片的开发及制造。近日，又有一家中企首台光刻机入厂。
就在2022年的最后几天，重庆锐石创芯发布消息，其滤波器生产基地项目一期首台ASML光刻机入厂，将用于生产高性能的4G/5G射频前端产品MEMS滤波器芯片。
该公司没有公开搬入的ASML光刻机是什么型号，不出意外应该就是DUV光刻机。
如今，不管是中企还是ASML，面临的形势都很复杂。尤其是作为全球光刻机霸主的ASML，占据了全球光刻机市场80%左右的份额，更是被美拉拢扩大限制的目标。
之前，ASML已经按美要求，限制EUV光刻机出货给中企。如今，主要依赖DUV光刻机在大陆地区开展市场。因为美方限制先进制程的发展，大陆重点发展成熟制程。
尤其近几年，大陆正在建设或规划建设的晶圆厂达到几十座，需求最大的就是DUV。
ASML正是看到了这个趋势，所以加大了在大陆地区的布局，增加了人员招聘，不断扩大相关机构，去年还首次设立了“ASML中国日”，并且连续四次参加上海世博会。
以上这些，足以看出ASML对大陆市场的高度重视，毕竟已经成了其第三大海外出货地。为进一步扩大市场份额，ASML不断扩大产能，计划2025年出货600台DUV。
这么大的DUV光刻机出货量，显然是把大陆成熟制程扩展的DUV需求考虑在内的。
然而，美方又盯上了ASML的DUV光刻机，想要其扩大限制DUV出货给中企。对此，ASML直接表示拒绝，认为那将会导致全球供应链中断，并且表示他们是欧洲公司。
同时，荷兰大臣表示，美方不应该对他们的企业发号施令，他们也不会完全照搬美限制。但之后有美媒传出消息，荷兰似乎又和美达成协议，将会和美共同实施限制。
而ASML依然不太愿意，总裁甚至直接对美限制政策提出质疑，这基本表示了态度。
ASML的态度也反映到了行动上，就是继续向中企出货，不只是鼎泰匠芯、锐石创芯等获得ASML的光刻机，近日ASML还中标了华虹半导体12英寸产线的1台光刻机。
上海积塔半导体还发布了1台ArFi浸没式扫描光刻机招标，不出意外还会是ASML中标。由此看来，ASML已经用行动做出了选择，明显不想接受美限制DUV的要求。
目前，我们还不得不购买ASML的光刻机，但还是希望能够尽快用上国产的光刻机！