中国为什么难以搞定光刻机？这主要有工业基础和民族传统有一定关系，大有大的难，小有小的深！
如果翻开苏联的工业史，会发现苏联在工业上在做大方面简直是独树一帜，比如最大的运输机、最大直升机、最大航空发动机、最大火箭发动机、最大地效飞机、最大核潜艇、最大氢弹等等。这方面没有一个国家和他们可以比拟，而且苏联的产品都比较粗糙，但综合性能不错，比如SU27就比F15粗糙，但是综合飞行性能要好于F15。但是苏联在微电子方面就比较勉强了，一直落后欧美日不少，现在俄罗斯在微电子就落后中国不少。
师承于苏联的中国工业体系，现在在做大家伙也是很擅长的，中国现在最大的火力发电机组、水力发电机组、各种最大液压机等粗重工业品也慢慢爬升到世界前列。特别的，造船这种工业中国都快占世界一半，钢铁水泥则占世界一半以上。盾构机、造楼机和建桥机现在也是全球产能最大，有的是全球独一无二的。不过，和苏联一样，中国的工业在做精细显微产品也不行。总体上落后欧美日不少。
这种精细显微工业，核心很多，例如。包括镜片的平整，打磨粉的颗粒小而均匀，技术工人的精益求精。而这几方面中国通通是落后的，尤其中国很多差不多就行的文化，导致每个差不多最终出来结果就差很多。精细化制造在显微产品对公差的要求不允许差不多这种文化，这显然和大型产品对精细度偏差完全要求不同，技术领域也不同。比如大型产品往往更需要注意热胀冷缩，材料应力，重力形变等变化。而精密仪器和设备在恒温恒湿无尘工厂进行，很多大型设备存在的热胀冷缩的就完全不一样了，这是两个领域的知识。
另外，欧美日有很多小工业巨头，他们可能年产值几亿美元到几十亿美元，却有很高的技术门槛，别人还搞不定。ASML公司原来就是这类小巨头，年收入几十亿美元，但这几年飞涨，去年年收入已达 186 亿欧元，净利润59亿欧元。而预计2025可能营收达240亿至300亿欧元，毛利率约54%至56%，往往成长为世界五百强了。在德国和日本，有大量这种干几十年但是营收不咋样，但技术很牛的小巨头，中国这方面差距比较大。如果说中国什么是小巨头的例子，可能中国一些稀土公司、大疆等算是小巨头。但是在精细化显微工领域中国的人才和经验很不足，技术积累也不足。这是中国光刻机在这方面落后和一直迟迟无法国产化的根源。
不过，现在中国大学已经在大量上集成电路相关专业，中国不断有12寸厂投产也在高速培养熟手工程师，这些微电子和显微工业技术人才会促进光刻机的成熟，再过5-10年就好很不一样了。